欧姆龙 E3S-CD66
E3S-CD66 前者为E3X-HD、后者为E3NX-FA的值原装欧姆龙E3S-CD66原装欧姆龙E3S-CD66。晶圆片托架的落座检测。 通过与导槽并用的方式设定落座位置。 与晶圆片托架的接触面使