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欧姆龙 E5EN-HPRR2BFMD-500 AC/DC24 [型号及价格]
AC/DC24晶圆片托架的落座检测。 通过与导槽并用的方式设定落座位置。 与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。 独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶
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